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日照喜相逢汽车24h在线服务室内发生尘量较低的情况下,采用低的气流速度下,末级过滤器效率的变速器变化,对洁净度的影响增大。以上情况可以引用的图1a~1c看出。作图有关数据:新风进末过滤器前的含尘浓度1.7516个/m3室内发生量:G1=35个/m3.minG2=35个/m3.minG3=35个/m3.minG4=35个/m3.min新风量对于全空气量的比率.3当前有的IC工厂其ISO5级(.3m)的洁净室,采用FFU系统,带ULPA(99.9995%,.12m),出口风速为.38m/s,其满布率为25%,这样室内平均气流速度为.95m/s,在各有关推荐或参考值的下限下。