电子体视显微镜的基本构造

电子体视显微镜(以下简称电镜—译注)的主体由电子枪和安置在直立镜筒中的一组磁透镜组成，镜筒内的真空度抽到10-5毛以上。电子枪产生相干平行电子束，利用双聚光镜系统可使其照在样品上的束斑直径在1-50微米(μm)范围内变化。

    固定试样的特制样品台正好放进物镜孔内，并能让样品绕相互垂直的两根轴转动300以上，以便进行专门的晶体学分析。通过样品的电子束在物镜后焦面上聚焦，这个物镜和所有电磁透镜一样，是会聚镜，在它的后焦面就会产生衍射花样，而在一次象平面上则呈现倒转的象。镜筒里后而三个透镜，即衍射镜、中间镜和投影镜，是用来放大图象或衍射花样。若衍射镜对物镜后焦面聚焦，萤光屏上就看到放大的衍射花样;反之，若衍射镜对一次象平面成象，就得到放大的试样象。典型的现代电镜在萤光屏上的终放大率可在10(2)-10(8)倍之间变化。

    实际上，在进行一切晶体缺陷分析时都把一个光栏插在物镜后焦面或其附近，以保证只有一束电子参加成象。此外，当缩短衍射镜焦距以使衍射花样在物镜后焦面上成象时，还应在一次象平面处放置一个光栏限定产生衍射花样的试样区域，这叫做选区电子衍射。
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