滤芯制造提高成品率和成功操作的关键因素

　　上海禾益净化设备制造有限公司生产的滤芯采用0.1~0.2μm级的滤器过滤光敏抗蚀剂，目的是用以去除由装运容器产生的杂质和聚合物不稳定产生的胶体粒子。为什么要专门针对这些胶体粒子进行处理呢?专家表示这些胶体粒子在高压下能通过多空过滤器，因而更难过滤。

　　光敏抗蚀剂在使用点过滤对于提高成品率至关重要。这种应用的理想过滤器应能去除大于其孔径的粒子，且不增加污染物(粒子或可萃取物)。由于大多数光敏抗蚀剂溶液含有好的聚合物溶剂，因此全部采用氟聚合物结构的滤器为佳。

　　由于上海禾益滤芯装置生产期间晶片要用去除粒子水冲洗几次，因而在生产过程中它要与100~100dm3去离子水相接触。由于重复操作，去离子水的质量对于半导体生产的成功操作也至关重要。

　　在上海禾益滤芯制造用水方面，微过滤设备是去离子水循环系统的主要组成设备，属水处理中的三级处理。三级处理系统的目的是去除循环水中的各种污染物。微量离子由混合床去离子器去除。是有紫外线装置控制，以及定期用剂例如过氧化氢或臭氧进行处理。对于离子水过滤设备的标准要求，是能去除进空系统中存在的任何悬浮粒子，而且不能把悬浮的和溶解的污染物带入已过滤的产品水中。

　　上海禾益净化设备制造有限公司表示，为了确保滤芯的和工作时的效率，在生产中的时候需要注意的细节和知识有很多，需要所有的人用心的去揣摩并积极实践。

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