等离子清洗机

备名称：等离子处理设备
设备型号：PR80LW
机台重量：约300KG
额定功率：3KW
机台供电：AC-380V/三相五线式
整机规格：1320mm（W）×1030mm（D）×1720mm（H）
真空室规格：450mm（W）×450mm（D）×400mm（H）
电极板规格：410mm（W）×435mm（D），可任意组合
单层处理大面积：340mm（W）×305mm（D）
产能：根据产品规格而定
处理时间：工艺不同，处理时间不同
等离子发生器功率：射频13.56MH z，0-500W可调
真空泵系统：机械真空泵
真空测定系统：皮拉尼式真空计
工作真空度：20-60Pa
真空泵极限压力：4.0×10-1Pa
抽真空时间：≤50S
破真空时间：20-40S
供气方式：电磁阀式
流量计调节范围：0-300Sccm（毫升/分钟）
输入气压监测系统：2路气压减压表，2路气体质量流量计
操作方式：人工取放工件，一键启动自动控制
用途：不同组合用于不同工艺制造，可用于器件、金属基工件、陶瓷、玻璃等工件表面清洁、改性等。