3D光学干涉轮廓仪

NanoX-2000/3000系列3D光学干涉轮廓仪建立在移相干涉测量（PSI）、白光垂直扫描干涉测量（VSI）和单色光垂直扫描干涉测量（CSI）等技术的基础上，以其纳米级测量准确度和重复性（稳定性）定量地反映出被测件的表面粗糙度、表面轮廓、台阶高度、关键部位的尺寸及其形貌特征等。广泛应用于集成电路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技术、材料、太阳能电池技术等领域。

NanoX-2000/3000系列3D光学干涉轮廓仪优势



➢美国硅谷研发的核心技术和系统软件

➢关键硬件采用美国、德国、日本等品牌

➢PI纳米移动平台及控制系统

➢Nikon干涉物镜

➢NI信号控制板和Labview64控制软件

➢TMC光学隔振台

➢测量准确度重复性达到高级水平(中国计量科学研究院证书)

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