真空泵的工作原理 特点及应用领域

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大约在上个世纪90年代初，世界上首台无油旋涡真空泵生产出来并快速的推向市场，涡旋技术在真空行业内内被推广到全世界应用。
无油旋涡真空泵的涡旋盘就是一端与一个平面相接的一个或几个渐开线螺旋形成涡旋型盘状结构。一个静涡旋盘与一个动涡旋盘组成的一对涡旋盘付构成了无油旋涡真空泵的基本抽气单元。动涡旋盘由偏心轴驱动与静涡旋盘做相对摆动运动形成容积不断变化的新月形真空腔使气体从抽气口吸入、排气口排出、完成吸气、压缩、排气的循环。
无油旋涡真空泵具有下述特点：
一、无油，无摩擦、非接触、无磨损且不产生微粒尘埃污染，可获得清洁真空。
二、抽气量大：双涡旋盘结构与单级相比相同直径泵抽气容积为2倍，节省能源。
三、抽气效率高：带有3-4个抽气单元，压差小；大气与真空之间由0型圈密封，泄漏低。
四、非接触，良好平衡，力矩影响小，噪音低，振动小。
五、结构简单紧凑，相同尺寸下，运动半径小，运行平稳。
六、体积小，维修方便，维护费用低。
七、采用空气冷却，无需水冷。
了解了它的工作原理与特点之后，我们来看看它的应用领域：
①半导体行业：薄膜制备设备、半导体器件封装设备；
②科学仪器行业：同步辐射光束线、电子显微镜、分析测试仪器；
③机械设备行业：材料制备设备、真空检测、材料提纯设备；
④化学工业；
⑤医疗设备：牙科仪器、透析机、生物制品与制备；
⑥包装行业：食品、、生物制品等包装设备