四乙氧基硅烷合成尾气清洁工艺研究

中文名 四乙氧基硅烷
外文名Tetraethyl orthosilicate
别   名 硅酸四乙酯
化学式 C8H20O4Si
分子量 208.327
CAS登录号 78-10-4
EINECS登录号 201-083-8
熔   点 -77 ℃
沸   点 168 ℃
水溶性 微溶
密   度 0.94 g/cm3
外   观 无色透明液体
四乙氧基硅烷(别名:正硅酸乙酯)制备过程中合成工序产生的尾气主要成分是四氯化硅,乙醇,中间产物和.尾气中的HCl是合成三氯氢硅的重要原料,所以可以将HCl通入三氯氢硅合成炉反应,从而回收此部分的HCl.这样可以大大降低生产成本,HCl是酸性气体,因此也可以减少环境污染.在回收尾气中的HCl时,由于尾气中含有一部分的乙醇和中间产物,会对三氯氢硅合成炉造成堵塞,增加设备维修频率.所以设计此工艺目的在于清洁尾气中的乙醇和中间产物,使得进入三氯氢硅合成炉的气体只有HCl和少量不影响合成炉的四氯化硅.