多功能pecvd系统

产品特点1.该设备生长温度更低2.使用滑轨炉实现快速升温和降温，沉积速率快3.设备辉光均匀等效，均匀生长，成膜质量好4.支持外部真空规和压力变送器5.支持智能进气，根据需要设定不同的温度，自动进气，进气定时间到后自动停止进气6.支持云端数据存储，随时查看数据7.支持炉膛移动速度调节8.支持射频电源根据外部工况条件自动启动停止9.支持压力恒定，压力可以设定10.支持c压保护，大压力值可以设定，c过后系统自动进入保护