半导体功率器件CV特性测试系统

半导体功率器件CV特性测试系统主要由源表、LCR表、矩阵开关和上位机软件组成。LCR表支持的测量频率范围在0.1Hz~1MHz，源表(SMU)负责提供可调直流电压偏置，通过矩阵开关加载在待测件上，内置自动化CV测试软件，包含C-V（电容-电压），C-T（电容-时间），C-F（电容-频率）等多项测试测试功能；详询一八一四零六六三四七六；

系统优势

频率范围宽：频率范围10Hz~1MHz连续频率点可调；
高精度、大动态范围：提供0V~3500V偏压范围，精度0.1%；

内置CV测试：内置自动化CV测试软件，包含C-V（电容-电压），C-T（电容-时间），C-F（电容-频率）等多项测试测试功能;

兼容IV测试：同时支持击穿特性以及漏电流特性测试；

实时曲线绘制：软件界面直观展示项目测试数据及曲线，便于监控；

​扩展性强：系统采用模块化设计，可根据需求灵活搭配；