机在洁净室行业的应用

　　随着科技的进步和产品技术的不断提升以及中国对外开放的深入，大批的外资企业在中国设立其制造基地，特别是近年来半导体行业的大举进入，其全新的生产工艺及生产过程中对环境温、湿度、洁净度http://www.hzson***/的较高要求，需要我们提供一个比较有效且比较低能耗的空调系统，特别需要有低湿度的空调环境保证。http://www.hzson***/news/hy/228.html

　　目前，空气主要有四种方式，通风、冷却、液体吸湿剂和固体吸附剂。在空调系统中，冷却和固体吸附剂是主要手段。冷却在环境对湿度要求不是很高(RH≯60～65%)的条件下，效果还是比较好，性能稳定且能耗也比较低，目前应用比较广泛。但在生产环境对湿度要求较高( RH=45±5%)的地方，采用冷却就明显是不经济的。采用转轮机，将不受空气露点影响，且量大，特别适用于低湿条件下，但如果全部仅采用固态吸附原理的转轮机进行，由于其再生耗能量也比较大，此种方案也不是经济的。由于转轮和冷却各有所长，将其优化组合，各取所长，互补所短，会更好的发挥其效能。

　　2 .湿度在半导体行业中的要求

　　半导体的生产工厂要在全年四季的气候条件下，生产车间内部要求维持稳定的环境，特别是对于生产环境的温度、湿度、空气洁净度、气流组织，压力平衡等多个空调参数都提出了严格的要求。有别于其他的恒温恒湿环境系统的要求，由于电子产品对静电的敏感性和高湿度环境对其品质的影响，其对湿度的精度提出了严格要求，对于空调系统的配置，则要求系统同时具备夏季的功能和冬季加湿的功能。