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探针台手动测试晶圆忆阻器失效分析IV测试光电流测试

区域:
济南 > 槐荫 > 美里湖
类别:
光学仪器
单价:
1 元
公司:
济南创谱仪器有限公司
企业:
济南创谱仪器有限公司 企业已认证
产品信息:
在实际得科研生产中,由于样品/晶圆(Wafer)得尺寸越来越大,用于测试的探针台相当昂贵,我司根据客户市场应用自主研发的这款结构小巧,功能实用,成本较低的简易式探针台,在满足基本测试功能基础上,去除了非必要得部件,该探针台系统包含:光学成像部分,隔振平台,探针座,四维调整载片台(Chuck),真空吸附系统;  
创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台,以达到更好得使用效果和性价比。
技术参数:
◆模块化设计,可以搭建不同构件完成不同测试
◆探针台整体位移分辨率3μm,样品XYZR四维调节  
◆兼容多种光学显微镜,可以引入光路,完成光电mapping测试
◆兼容高倍率电子显微镜/体式显微镜,可360°旋转和微调升降
◆漏电流精度:10pA/100fa(屏蔽箱内)
◆探针采用进叉滚珠导轨,线性移动,无回程差设计
◆1微米以上电极/PAD使用
◆加宽探针架,可以放置6个DC探针座/4个RF探针座
◆全系列搭配显微镜XY精密移动功能,可以选配多种位移行程以及驱动形式
◆多被用于科研院校搭建测试系统,例:材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统、忆阻器与神经元系统等等
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