探针台手动测试晶圆探针台失效分析IV测试光电测试探针架探针座
产品信息:
在实际得科研生产中,由于样品/晶圆(Wafer)得尺寸越来越大,用于测试的探针台相当昂贵,我司根据客户市场应用自主研发的这款结构小巧,功能实用,成本较低的简易式探针台,在满足基本测试功能基础上,去除了非必要得部件,该探针台系统包含:光学成像部分,隔振平台,探针座,四维调整载片台(Chuck),真空吸附系统;
创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台,以达到更好得使用效果和性价比。
技术参数:
◆结构紧凑,功能实用,高性价比
◆可用于12寸以内样品测试
◆1微米以上电极/PAD使用
◆兼容高倍率电子显微镜/体式显微镜,可360°旋转和微调升降
◆漏电流精度:10pA/100fa(屏蔽箱内)
◆精密丝杠/燕尾传动结构,线性移动,无回程差设计
◆应用于高等院校/研究所/公司实验室使用
◆模块化设计,可以根据应用增加和去除相应模块
◆多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等;
在实际得科研生产中,由于样品/晶圆(Wafer)得尺寸越来越大,用于测试的探针台相当昂贵,我司根据客户市场应用自主研发的这款结构小巧,功能实用,成本较低的简易式探针台,在满足基本测试功能基础上,去除了非必要得部件,该探针台系统包含:光学成像部分,隔振平台,探针座,四维调整载片台(Chuck),真空吸附系统;
创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台,以达到更好得使用效果和性价比。
技术参数:
◆结构紧凑,功能实用,高性价比
◆可用于12寸以内样品测试
◆1微米以上电极/PAD使用
◆兼容高倍率电子显微镜/体式显微镜,可360°旋转和微调升降
◆漏电流精度:10pA/100fa(屏蔽箱内)
◆精密丝杠/燕尾传动结构,线性移动,无回程差设计
◆应用于高等院校/研究所/公司实验室使用
◆模块化设计,可以根据应用增加和去除相应模块
◆多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等;